Электродуговые средства вакуумирования
Рубрика:
| Руденко, СИ, Шелухин, ВВ, Ефимчук, БП |
| Косм. наука технол. 2004, 10 ;(Supplement1):019-022 |
| https://doi.org/10.15407/knit2004.01s.019 |
| Язык публикации: Русский |
Аннотация: Изложены некоторые результаты поисковых расчетно-аналитических и опытно-експериментальных работ по созданию на основе ионно-плазменной сублимации геттера высокоэффективных средств безмасляного вакуумирования камер больших объемов разнообразного технологического назначения.
|
References:
1. Саксаганский Г. Л. Источники возобновляемых геттерных пленок. — М.: ЦНИТИхимнефтемаш, 1988.—38 с.
2. Саблев Л. П., Шулаев В. М., Андреев А. А. Сорбционные высоковакуумные электродуговые насосы большой производительности для технологического обоудования// Тр. научно-практического симп. «Оборудование и технологии термической обработки металлов и сплавов в машиностроении». — Харьков, 2000.—С. 16—21.
3. Шелухин В. В., Рябинина И. В., Руденко С. И. и др. Электродуговой испаритель металлов // Патент Украины.